出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 多孔硅外延层转移技术 |
| 释义 | 多孔硅外延层转移技术 多孔硅外延层转移技术 英语缩写ELTRAN。通过在多孔硅层上外延单晶硅制备绝缘体上硅材料的技术。先在硅晶片表面形成两个不同孔率和力学特性的多孔硅层，再在多孔硅层上外延单晶硅，将外延片和氧化硅片键合，然后用机械抛光方法将衬底硅去除，或用楔形物插入法等将其劈开，最后将残余的多孔硅去除，形成绝缘体上硅材料。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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