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外扩散
释义
外扩散
信息科学卷
外扩散
在物体外表面上的物质向外扩散的现象。在有浓度差处,物质会从高浓度处向低浓度处移动、扩散,最后达到一种平衡;而在外表面,其外扩散表现为扩散速率与物质浓度成正比,且会随着气体流速的增加而增加。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/4/17 11:30:52