出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 外延衬底 |
| 释义 | 外延衬底 外延衬底 亦称“基片”。用来生长外延层的衬底材料。分两类：（1） 衬底材料与外延材料相同，如在硅片上外延生长硅，称“同质衬底”；（2） 衬底材料与外延材料不同，如在硅片上外延生长砷化镓，或者在蓝宝石衬底上外延生长硅等，称“异质衬底”。适于制作外延衬底的材料有硅、砷化镓、磷化铟、蓝宝石、碳化硅等。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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