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填充能力
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填充能力
信息科学卷
填充能力
一般指间隙(如槽或孔)填充能力。间隙一般通过深宽比来衡量,深宽比越高,间隙的填充越难。而对于不同的材料,其对间隙的填充能力不同。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/29 5:22:58