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字词 填充塞
释义
填充塞
填充塞  在集成电路互连通孔中填充的用于连通的金属薄膜。常用的为钨,称“钨塞”。钨具有均匀填充高深宽比通孔的能力,抗电子迁移率好,故用作填充材料。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/29 1:08:06