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四探针测试仪
释义
四探针测试仪
材料科学卷
四探针测试仪
运用四探针测量原理的多用途综合测量装置。利用A、B、C、D四个探针,A、D间通以电流I,B、C两针量取电压差(ΔV),则薄层电阻R
s
=K·ΔV/I。式中,K为比例常数,和机台及针尖距离有关。可测量片状、块状半导体材料径向和轴向电阻率,测量片状半导体材料的电阻率和扩散层的薄层电阻(方块电阻)。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2026/10/22 18:33:58